UpNano GmbH: 2光子重合 (2PP) 印刷における基板の傾きを補正し、精度を向上させる新しいフレームを開発中!

2022年8月27日、Antarctic Bearは、UpNano GmbHが印刷中に2光子重合（2PP）3Dプリント基板のわずかな傾きを補正し、印刷精度を向上させる新しいフレームを開発したことを知りました。新開発の傾斜フレームは、特に大型構造物の印刷結果の精度を最大限に高めるのに役立ちます。

UpNano GmbH (オーストリア) が「Tilt Frame」を国際的に発売。フレームには、2 ～ 6 インチの業界標準のウェーハ用のチャックホルダーを装備できます。このフレームにより、長さ4インチまでのウェハーの表面全体への2PP 3Dプリントが実現しました。傾斜フレームは、UpNano の NanoOne シリーズデバイスに適合します。NanoOne シリーズは、 12 桁に及ぶ構造を超高速で構築できるレーザー駆動の 2PP 3D 印刷システムです。

△ナノワンプリンター

NanoOne シリーズは、センチメートル寸法だけでなくナノメートル解像度の構造を印刷できます。細胞および医療研究における電子機器、マイクロ光学、生体適合性アプリケーションに使用されてきました。 2PP 3D プリントでは、寸法パラメータが非常に重要です。印刷される構造が大きくなるほど、デバイス内のわずかな不均一性が最終製品の精度に与える影響が大きくなります。 NanoOne を使用すると、解像度や許容誤差を犠牲にすることなく、マイクロ部品の生産時間と単価を大幅に削減できます。多光子リソグラフィーに基づく多用途の技術は、170 nm の範囲の構造を持つ超微細部品や、センチメートルの範囲のマクロ的なマイクロ部品の製造に使用できます。最大 1,000 mm/s の書き込み速度と 450 mm3/h を超えるスループットを備えた NanoOne は、高いパフォーマンスと使いやすさを兼ね備えています。

△超微細部品やマクロ・マイクロ部品の印刷が可能

△UpNanoは精度を最大化できる傾斜フレームを開発しました。 2PP 3D プリント用の傾斜補正機能付き基板ホルダー。

UpNano GmbH は、マイクロメートル範囲の不均一性を修正できる傾斜フレームを発売することで、上記の問題を解決しました。チルトフレームは、6 インチウェーハ用のチャックブラケットまで、さまざまなブラケットを使用して拡張できます。 2PP でウェハーの表面全体 (最大 4 インチ) を 3D プリントできるようになりました。

UpNano のマーケティングおよびビジネス開発責任者兼共同創設者である Denise Hirner 氏は、次のように説明しています。「フレームは NanoOne プリンターにフィットするように設計されており、特に大きな構造物の印刷結果の精度を最大限に高めます。」

チルトフレームは別途注文でき、既存の NanoOne プリンターに簡単に取り付けることができます。また、新しい NanoOne にプリインストールされたアクセサリとして取り付けることもできます。このフレームワークは、μm 範囲で基板の傾きを補正できます。補正値は、基板上の 3 点で高さ測定を実行する NanoOne オートフォーカスによって取得されます。これらの測定値に基づいて、コンピューターは自動的に補正値を計算します。チルトフレームには、高精度の補正ネジを使用する手頃な価格の手動バージョンと、補正にソフトウェア制御の高精度モーターを使用する自動バージョンの 2 つのバージョンがあります。このフレームは、NanoOne シリーズで利用可能なすべての光学系、つまり 5 倍、10 倍、20 倍、40 倍の対物レンズと互換性があります。

「 NanoOne は、最大 1,000 mm/s という驚異的な書き込み速度で印刷し、最大 200 mm3/h のスループットを達成できます。これに、新たに獲得した最大 4 インチの業界標準ウェーハの表面全体を印刷する機能を組み合わせることで、初めて 2PP 3D 精度を量産で実現できるようになりました」と Denise Hirner は述べています。

UpNano は、Tilt Frame ポートフォリオにファイバーホルダーとフェルールホルダーも追加しました。これらのホルダーを、プロセスに最適化された UpNano ポートフォリオの光学特性を持つ印刷材料と組み合わせて使用することで、光ファイバーの先端に統合光学システムを高精度に配置して製造することができます。

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